Серия

Фоторезист

Толщина пленки, мкм

Проявители

Средства удаления

Области применения

AZ® 1500

Позитивный

тонкий

AZ® 1505

AZ® 1512 HS

AZ® 1518

≈ 0.5

≈ 1.0 - 1.5

≈ 1.5 - 2.5

AZ® 351B,

AZ® 326 MIF,

AZ® 726 MIF

AZ® 100 Remover, TechniStrip® P1316, TechniStrip® P1331, Intelligent fluids SH5

Общее предложение, резисты для нанесения мокрого травления и нанесения покрытий

AZ® 10 XT

Позитивный

толстый

AZ® 10XT

(520CP)

≈ 5 - 20

AZ® 400K,

AZ® 326 MIF,

AZ® 726 MIF

AZ® 100 Remover, TechniStrip® P1316, TechniStrip® P1331, Intelligent fluids SH5

Толстые фоторезисты  для нанесения покрытий и травления.

Применение:

Припой, Cu, Au

AZ® 701 MiR

Позитивный

тонкий

AZ® 701 MiR (14 cPs)

≈ 0.8

AZ® 351B,

AZ® 326 MIF,

AZ® 726 MIF

Для сухого травления;

высокое разрешение

Фоторезисты с высоким разрешением, быстрые и экономичные, предназначены для замены старых резистов среднего класса производства. 

AZ® 40XT

Позитивный

толстый

AZ® 40 XT-11D

 >30

AZ® 400K,

AZ® 326 MIF,

AZ® 726 MIF

Толстый фоторезист с усилением для травления и нанесения  покрытий. 

Применение: Травление, припой,Cu

Струйный принтер

AZ® nLOF 2000

Негативный

AZ® nLOF 2070

≈ 6 - 15

AZ® 326B,

AZ® 726 MIF,

AZ® 826 MIF

TechniStrip® Micro D2 TechniStrip® P1316, TechniStrip® P1331,  Intelligent fluids SH5

Термостойкие негативные.

Для электронной литографии

AZ 5214 E

Позитивный

AZ 5214 E

1-2

AZ 351B, AZ 726

AZ 100 Remover

Обратная (взрывная) литография (lift-off) 310 — 420 нм

Отрицательный наклон боковых стенок, высокая температурная стабильность, низкая дегазация в вакууме.

AZ 4500

Позитивный толстопленочный

AZ4533

AZ4562

2,7-5,0

5,0 - 10,0

AZ 351

AZ® 726 MIF

AZ 100 Remover

УФ-спектр от 310 до 440 нм, охватывающий линии: i, h.

Для мокрого и сухого травления. Применение: припой, Cu, Au