Кварцевые кристаллы
Кристаллы служат «расходным материалом», на который производится напыление с целью определения толщины плёнки. Для разных приложений предлагаются кристаллы с покрытием золотом, серебром и сплавами.
Управляющие кварцевые кристаллы, плоско-выпуклые, 6 МГц, диаметром 0,55” (1,4 см). Совместимы со всеми датчиками для кристаллов на 6 МГц. Выбор покрытия, серебро, золото или сплав, зависит от планируемого применения. |
Проверяемые параметры:
- Сопротивление – проверка электрического контакта и адгезии электродов;
- Частота – проверка точности определения толщины плёнки;
- Кривизна – проверка стабильности резонансной частоты. Недостаточная кривизна приводит к более быстрому снижению стабильности
измерения. - Визуальный осмотр – проверка однородности электродов, обнаружение дефектов поверхности и других отклонений, свидетельствующих
о плохой адгезии электродов либо о наличии загрязнений.
ПРИМЕЧАНИЕ:
1. Золотое покрытие рекомендуется при напылении плёнок с малыми внутренними напряжениями, таких как алюминий, золото, серебро и пр.
Серебро или сплав рекомендуются при напылении плёнок с большими внутренними напряжениями, таких как хром, никель, инконель и пр.
Сплав рекомендуется при напылении диэлектрических материалов, таких как фторид магния, монооксид кремния и пр.
2. Информацию о других типах кристаллов и ценах можно запросить в нашей компании.