Резистивные источники термического испарения в вакууме

  Метод термического испарения в вакууме является одним из самых распространённых и доступных методов термовакуумного напыления пленок и покрытий. Резистивное термическое испарение веществ в вакууме происходит за счет нагрева испарителя резистивного типа с высоким электрическим сопротивлением. В резистивных источниках термического испарения в вакууме напыляемое вещество размещается на испарителе, разогревается до температуры испарения материала в вакууме, в результате чего атомы напыляемого вещества испаряются и движутся к подложке, где происходит их осаждение и образуется покрытие (пленка).

   Низкие затраты на оборудование компенсируются сложностью поддержания постоянной скорости испарения (по сравнению с другими методами) по существу, являются открытыми нагревательными устройствами (катод), без теплозащитного экранирования, изоляции или любых других методов для снижения температурных перепадов.

       Испарители резистивного типа могут быть предложены в различных исполнениях и конфигурациях сложности:

• проволочные испарители (нити накала, корзины и др.);
• ленточные испарители (лодочного, лабиринтного, коробчатого типа и др.);
• стержни;
• другие формы.

    Испарители могут быть изготовлены под заказ по спецификации или чертежам клиента.

  Филаменты для испарения в вакууме (проволочные испарители) представляют собой одиночную или многожильную вольфрамовую проволоку (нить накала), изогнутую в форме (петли, точки, спирали, катушки, V-образные), которые подходят для конкретного монтажа или требуемого рисунка испарения. Испаритель осаждается на проволоку путем погружения в расплав, в раствор термически разлагаемой соли или физически захватывающих частей. Скорость испарения материала изменяется путем изменения тока.

  Филамент в форме спиральной конической корзины предназначен для испарения более крупных «частиц» материала. Филаменты типа «коническая корзина» могут быть также использованы для нагрева небольших тиглей.

     Ленточные испарители изготавливаются из тонких листов вольфрама, тантала или молибдена в различных формах: полусферы, с углублениями, складками, изгибами и др., для удержания испаряемого вещества. Сложность и форма конструкции испарителя ленточного типа варьируется от простого испарителя с углублением до многокамерных испарителей с боковыми направляющими потока испаряемого вещества (лабиринтного или коробчатого типа).

Стержни для испарения

Тигли для испарения

  Тигли для термического испарения могут быть предложены из таких материалов как керамика (Al2O3), кварц, нитрида бора (BN), тантал, молибден, графит, интерметаллические и другие.

Также для тиглей к заказу доступны нагреватели проволочного и других типов.