Проявители для жидких фоторезистов компании DuPont и Dow Chemical Company
В 2017 году произошло объединение компаниЙ Dow Chemical (Dow Inc) и DuPont.
Компании DuPont и Dow Chemical предлагают надежную, проверенную в производстве линейку фоторезистов,
которые отвечают требованиям различных процессов литографии с длинами волн от 365 нм до 13,5 нм, также проявители, удалители.
Проявители MF представляют собой водный раствор гидроксид тетраметиламмония (TMAH) и предназначены для изготовления полупроводниковых приборов с высоким разрешением.
|
Серия |
Проявители |
Нормальность |
Фоторезисты |
Области применения |
|
Megaposit MF-20А
|
Megaposit MF-21A Megaposit MF-24A Megaposit MF-26A |
0,21 0,24 0,26 |
S1800 G2 SPR3000 SPR220 SPR700 SPR955CM ULTRA-i 123 |
Не содержит ионов металлов (MIF) (рекомендуется в тех случаях, когда желательно избежать потенциального источника загрязнения ионами металлов) |
|
Microposit™ MF-CD-26
|
Microposit™ MF-CD-26 |
0,26 |
MICROPOSIT S1400 MICROPOSIT S1800 SPR3000 SPR220 SPR700 SPR955CM ULTRA-i 123 |
Не содержит ионов металлов (MIF) (рекомендуется в тех случаях, когда желательно избежать потенциального источника загрязнения ионами металлов) |
|
Microposit™ MF-300
|
Microposit MF-319 Microposit MF-320 |
0,237 0,255 0,268 |
MICROPOSIT S1400 MICROPOSIT S1800 |
Высокое разрешение и широта технологических возможностей; для изготовления устройств высокой плотности |
