Проявители MICROPOSIT, MEGAPOSIT компании DuPont и Dow Chemical Company
В 2017 году произошло объединение компаниЙ Dow Chemical (Dow Inc) и DuPont.
Компании DuPont и Dow Chemical предлагают надежную, проверенную в производстве линейку фоторезистов,
которые отвечают требованиям различных процессов литографии с длинами волн от 365 нм до 13,5 нм, также проявители, удалители.
Проявители Megaposit MF-26A и MICROPOSIT MF-319 представляют собой водный раствор тетраметиламмоний гидроксида в воде, светло-желтого цвета.
|
Проявители |
Фоторезисты |
Процессы |
Области применения |
|
Megaposit MF-26A |
Microposit S1800 SPR3000 SPR220 SPR955 UV5 UV2000 |
Для проявления в ваннах, установках проявления распылением |
В литографических процессах, при которых потенциально возможна диффузия металлических примесей в подложку, например, в процессах с последующим плазмохимическим травлением подложки. Нормальность 0,26 N. |
|
MICROPOSIT MF-319 |
MICROPOSIT S1400 MICROPOSIT S1800 |
Для проявления в ваннах, установках проявления распылением |
Для изготовления полупроводниковых приборов с высоким разрешением. Нормальность 0,237 N. |
