Проявители MICROPOSIT, MEGAPOSIT компании DuPont и Dow Chemical Company
В 2017 году произошло объединение компаниЙ Dow Chemical (Dow Inc) и DuPont.
Компании DuPont и Dow Chemical предлагают надежную, проверенную в производстве линейку фоторезистов,
которые отвечают требованиям различных процессов литографии с длинами волн от 365 нм до 13,5 нм, также проявители, удалители.
Проявители Megaposit MF-20A и MICROPOSIT MF-300 представляют собой водный раствор гидроксид тетраметиламмония (TMAH) и предназначены для изготовления полупроводниковых приборов с высоким разрешением.
|
Проявители |
Нормальность |
Фоторезисты |
Области применения |
|
Megaposit MF-21A Megaposit MF-24A Megaposit MF-26A Megaposit MF-2A |
0,21 0,24 0,26 0,2 |
Microposit S1800 SPR3000 SPR220 SPR955 UV5 UV2000 |
В литографических процессах, при которых потенциально возможна диффузия металлических примесей в подложку, например, в процессах с последующим плазмохимическим травлением подложки. Нормальность 0,26 N. |
|
MICROPOSIT MF-319 (серия MF-300)
Скачать Технический паспорт |
0,237 |
MICROPOSIT S1400
MICROPOSIT S1800 |
Для изготовления полупроводниковых приборов с высоким разрешением. |
|
MICROPOSIT MF-320 (серия MF-300)
Скачать Технический паспорт |
0,255 |
для полупроводниковых приборов с высоким разрешением; высокая скорость фотосъемки |
|
|
MICROPOSIT MF-321 (серия MF-300)
Скачать Технический паспорт |
0,21 |
высокое разрешение и широта технологических возможностей для изготовления устройств высокой плотности |
|
|
MICROPOSIT MF-322 (серия MF-300)
Скачать Технический паспорт |
0,268 |
высокую скорость фотосъемки и широкие возможности обработки для изготовления устройств высокой плотности |
