Измерения на пластинах до 150 мм


Название Краткое описание
MPS150
MPS150
Ручная модульная зондовая станция MPS150 является очень рентабельной и простой в использовании, но, вместе с тем, обеспечивает очень точное позиционирование для тестирования пластин и подложек диаметром до 150 мм. Она поддерживает широкий спектр приложений, таких как C-V/I-V, СВЧ, микроволновые и суб-ТГц измерения, тестирование устройств и пластин (DWC), анализ дефектов (FA), субмикронное позиционирование, тестирование MEMS и оптоэлектронных устройств и многое другое. На рабочем столе может быть размещено до шестнадцати позиционеров, которые обеспечат измерения, аналогичные с использованием проб-карты. На базе станции MPS150 выпускается ряд уже готовых решений зондовых станций линейки EPS150.
EPS150TESLA
EPS150TESLA

Ручная зондовая станция для силовых измерений на пластине

EPS150COAX
EPS150COAX
Ручная зондовая аналитическая станция для I-V/C-V измерений.  Комплект зондовой станции EPS150TRIAX включает в себя всё необходимое для проведения максимально точных и достоверных измерений на пластинах диаметром вплоть до 150 мм с минимальными затратами времени. Станция разработана с использованием лучших из известных методик снятия вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик на уровне pA.
EPS150TRIAX
EPS150TRIAX
Готовое решение для I-V/C-V измерений с низким уровнем шума. Станция выполнена в триаксиальном исполнении, в ее состав уже входят микроскоп, светодиодная подсветка, четыре позиционера с измерительными руками, иголками и кабелями.
EPS150RF
EPS150RF
Ручная зондовая аналитическая станция для ВЧ-измерений на частотах до 67 ГГЦ на тестовых площадках размером 25х35 микрон и меньше. Компактная и жесткая конструкция обеспечит стабильный контакт . Широкий спектр приложений. В комплект поставки уже включены два ВЧ-зонда . 
EPS150MMW
EPS150MMW
Готовое решение для СВЧ измерений от 67 ГГц вплоть до ТГц на пластинах до 150 мм, в том числе для измерений с согласованной нагрузкой.  
EPS150FA
EPS150FA
Специализированное решение для анализа отказов. Конфигурация станции включает в себя всё необходимое для проверки полупроводниковых приборов на отказ, в том числе возможность локализации неисправности и отладки устройства.