Тигли для источников электронно-лучевого испарения в вакууме являются барьером, предотвращающим потерю тепла, поэтому их рекомендуется использовать для вакуумного напыления большинства материалов электронно-лучевым способом. Стандартно тигли имеют коническую форму и устанавливаются в ячейки вакуумного электронно-лучевого источника для формирования пленок и тонкопленочных покрытий.

     Тигли совместимы и подходят для всех электронно-лучевых испарителей производства компаний Kurt J. Lesker, FerroTec, Telemark, Temescal, Thermionics, Balzers, CHA Industries, BOC Edwards, Varian, MDC и других производителей. Тигли доступны во всех стандартных размерах от 1 см³ до 300 см³. Таблица соответствия тиглей и электронно-лучевых пушек доступна по ссылке. 

Тигли могут быть изготовлены под заказ по спецификации или чертежам клиента.

Пожалуйста, свяжитесь с нами, если у Вас есть вопросы относительно вашей заявки!
Наши менеджеры ответят на все Ваши вопросы!

 Графитовые тигли

Используются с материалами: Al-Ge, сплавы Al-Si, B, Be, Bi, CdS, CeO₂, Cr, Cu, Ge, In, Mg, Mo, Na₃AlF₆, Pd, Pt, Sb, SiO, SiO₂, Sr, Ta, Ti, Y₂O₃, Zn

 Тигли FABMATE®

Используются с материалами: Ag, Al, AlF₃, Al₂O₃, Al/Si, As, Au, B, B₄C, Be, Bi, CdS, CeO₂, Cr, Cu, Fe, Ga, GaAs, Ge, GeO₂, In, ITO, La₂O₃, Mg, MgF₂,MgO, Mo, NaF, Nb, Ni, Ni/Cr, Ni/Fe, Pb, Pd, Pt, Rh, Se, Si, SiO, SiO₂, Sn, Ta, Ta₂O₅, Tb, Te, Th, Ti, TiO, TiO₂, Ti₃O₅,WC, Y₂O₃, Zn, ZrO₂

Скачать описание

Интерметаллические тигли

(BN-TiB₂)

Используются с материалами: Al

 Тигли из оксида алюминия (Al₂O₃)

 Тигли из молибдена (Mo)

 Медные тигли (Cu)

 Тигли из вольфрама (W)

Используются с материалами: Cr

 Тигли из тантала (Ta)

 Тигли из нитрида бора (BN)