Проявители AZ MIF компании Merck Performance Materials (AZ Electronic Materials)
Компания Merck Performance Materials (AZ Electronic Materials) является одной из ведущих среди производителей специальных химических материалов для фотолитографии высокого качества и чистоты.
Проявители AZ MIF — это высококонтрастные проявители фоторезистов сверхвысокой чистоты на основе
гидроксида тетраметиламмония (TMAH), разработанные для современных интегральных схем и толстых фоторезистов.
|
Серия |
Проявители |
Фоторезисты |
Процессы |
Области применения |
|
AZ 300MIF
|
AZ® 351B |
Для проявления в ваннах, установках проявления распылением |
Проявитель общего назначения сверхвысокой чистоты, не содержащий поверхностно-активных веществ нормальностью 0,26N . |
|
|
AZ® 326 MIF |
||||
|
AZ 700MIF |
AZ® 726 MIF |
Для проявления в ваннах |
Проявитель нормальностью 0,26N с повышенным содержанием поверхностно-активных веществ |
