Фоторезист AZ 5214E

AZ 5214E — это позитивный фоторезист с возможностью обратимости изображения, обратной (взрывной) литографии, для получения отрицательного наклона боковых стенок.

Он обладает хорошей адгезией к подложке при влажном травлении.

Несмотря на то, что AZ 5214E является позитивным фоторезистом, он способен изменять изображение (ИК), и получать к негативный рисунок.

Фактически AZ 5214E используется почти всегда в ИК-режиме.

Скачать Технический паспорт

Скачать DataSheet

Особенности и преимущества:

• Толщина фоторезиста 1,0-2,0 мкм;
• Безопасный растворитель метоксипропилацетат (PGMEA);
• УФ-спектр от 310 до 440 нм, охватывающий линии: i, h;
• Для мокрого и сухого травления;

Проявители: AZ351B, 0,5% раствор NaOH