Фоторезист AZ® 10XT
AZ® 10XT – позитивный фоторезист повышенной толщины для нанесения покрытий с улучшенными профилями боковых стенок, высокого разрешения.
Скачать Технический паспорт
Преимущества фоторезистa AZ® 10XT
- Совместимость с MIF и IN проявителем;
- Выпекание после выдержки не требуется;
- Толщина одного слоя от 4,0 до 20 мкм.
Технологические условия
|
Покрытие
|
30 об/мин, пленка толщиной 40 мкм на кремниевой подложке без покрытия
|
|
Сушка
|
Сушильный шкаф,
110 °C / 120 с
|
|
Выдержка после
проявления
|
30 мин. (Время выдержки зависит от толщины пленки)
|
|
Экспонирование
|
Установка совмещения Suss MA-200, микрозазор 20 мкм, номин. значение 400 Дж/см2
|
|
Выдержка после экспонирования
|
По желанию
|
|
Проявитель
|
Ванночка, распыление или погружение
Тип проявителя: IN или MIF
|
|
