Магнетронное распыление материалов является одним из методов ионного распыления. Свойства аномального тлеющего разряда в области катода, возбуждаемого в скрещенных электрических и магнитных полях, и ионной бомбардировке поверхности мишени (катода) ионами рабочего газа позволяет считать магнетронное распыление одним из самых распространенных методов напыления покрытий и тонких пленок.