TORUS® Mag Keeper™ - Источник магнетронного распыления

Источник магнетронного распыления TORUS^® Mag Keeper™ от компании Kurt J. Lesker – это инновационное решение в области нанесения тонких пленок на подложку в вакууме. Новая конструкция магнетрона TORUS^® Mag Keeper™ позволяет производить замену мишеней для распыления быстрее, не используя никаких инструментов. Мишени крепятся на магнетрон с помощью держателя с магнитной плитой, что исключает необходимость крепления мишеней с помощью зажимов.

Магнетроны KJLC^® TORUS^® Mag Keeper™ предназначены для работы с мишенями диаметром от 2", 3" и 4" дюйма. Конструкция магнетрона используется как для цельных, так и для скрепленных с подложкой мишеней (основанием) различных видов, толщиной до 0,375" дюйма.

В зависимости от задач и распыляемого материала, магнетроны TORUS® Mag Keeper™ могут работать от источников постоянного (DC), переменного (AC), импульсного (Pulsed DC, HiPiMS) или высокочастотного (RF) тока.

Магнитный узел в держателе магнетрона Mag Keeper™ может быть укомплектован как стандартными, так и магнитами высокой мощности, которые подходят под размер одного и того же катода. Это дает возможность легкой оптимизация магнитной системы источников магнетронного распыления TORUS® Mag Keeper™ в полевых условиях, а также предоставляет возможность интеграции несбалансированного поля, если это требуется. Магнитная система магнетрона TORUS^® Mag Keeper™ может быть укомплектована различными типами магнитных полей: стандартные, сбалансированные, несбалансированные, со специальной магнитной конфигурацией, с реверсивной магнитной системой.

Благодаря тому, что в конструкции магнетронного распылительного устройства TORUS^® Mag Keeper™ отсутствуют уплотнительные кольца из эластомеров и используются медные уплотнения, это делает его совместимым не только со сверхвысоким вакуумом (UHV), но и способным выдерживать более высокие тепловые нагрузки.

Меньшая площадь магнетрона позволяет использовать большее количество источников магнетронного распыления TORUS® Mag Keeper™ в кластерных сборках из нескольких магнетронов в стандартных моделях вакуумных камер и установках напыления тонких пленок.

Широкий выбор опций позволяет сконфигурировать варианты исполнения магнетрона TORUS^® Mag Keeper™ именно под задачи клиента.

Сферы применения:   НИОКР Оптика Декоративные покрытия Медицина Сенсоры     Преимущества магнетронов TORUS® Mag Keeper™:   Компактный дизайн Совместимость в высоком (HV) и сверхвысоком (UHV) вакууме Быстрая смена мишеней, без инструментов Для мишеней: диаметром 2'', 3'' или 4'' дюйма, и толщиной до 0,375'' Пригоден для работы при тепловых нагрузках Сбалансированные и несбалансированные типы магнитов Различные конфигурации магнитных систем Распыление железа (Fe) толщиной до 0,120'' Низкое рабочее давление (<1 mTorr) Работа при мощности на плотность ≥ 200Вт/дюйм2. Работа при постоянном, переменном и импульсном токе Не требует уплотнительных колец Предусматривает варианты монтажа (на фланцах или без) Затвор для конфигураций с ограниченным пространством Компактный купольный отсекатель (заслонка) Типы источников питания (DC, RА, Impulse DC, HiPiMS) Кластерная сборка в один модуль (до 6 магнетронов)

Технические характеристики: