FS-1 Спектральный эллипсометр для измерения толщины и показателя преломления пленок

Компания «ЭлекТрейд-М», как официальный партнер Kurt J. Lesker Company (KJLC), представляет новый cпектральный эллипсометр для измерения толщины и показателя преломления пленок FS-1, предназначенный для применения в большинстве современных системах нанесения тонких пленок и покрытий. Эллипсометр FS-1 - это новое эффективное решение для измерения толщины пленок в режиме реального времени при нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме.

Особенности эллипсометра FS-1:

• Мониторинг и контроль толщины наносимого покрытия в режиме реального времени;
• Применимо к большинству методов нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме (магнетронное распыление, электронно-лучевое испарение, ALD, MBE, MOCVD и другие способы);
• Удобство монтажа источника света и детектора на фланцевые соединения типа ConFlat (CF);
• Для измерения толщин однослойных и многослойных пленочных структур;
• Определение толщин прозрачных пленок;
• Определение дополнительных параметров образцов (шероховатость поверхности, индекс дисперсии);
• Встроенные зонды фокусировки;
• Гибкий редактор шаблонов сканирования;
• Контурные графики измеряемых параметров;
• Устройство управления совместимо с ПК и планшетами, с возможностью анализа данных через веб-браузер;
• Отсутствие движущихся частей в детекторе.

Технические характеристики:

• Измерение образцов с размерами до 200 мм. в диаметре и толщиной до 23 мм;
• LED cветодиоды: синий (465 нм), зеленый (525 нм), желтый (580 нм) и красный (635нм);
• Измерение толщин пленок до 1000 нм;
• Размер пятна от 0,8 мм до 1,9 мм (возможны другие размеры);
• Быстрое время измерения (10 мс);
• Совместимость по интерфейсу FS-API (LabVIEW);
• Длительный срок службы (более 50000 часов);
• Калибровочные образцы (включены в комплект).

Применение:

• Полупроводниковая промышленность: оксиды кремния, нитриды, диэлектрики, аморфные и поликристаллические пленки кремния, фоторезисты;
• Оптические покрытия: SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 и др.;
• Производство дисплеев: покрытия из органических материалов (OLED), пленки из аморфного кремния, ITO;
• Накопители данных: алмазоподобные покрытия (DLC);
• Химия и биология: обнаружение суб-монослоя материала адсорбции;
• Научные исследования и разработка новых покрытий: AL2O3, TiO2, HfO2, TiN и другие.

Пример монтажа на фланцевое соединение типа ConFlat (CF)