TORUS® Комплект для магнетронного напыления тонких пленок

17.11.2017 12:01

Новая программа KJLC® RAP предлагает возможность создания пакета из магнетрона и блока питания, идеально подходящего для Вашего применения. Варианты включают в себя выбор магнетрона 2 ", 3" или 4 " TORUS® Mag Keeper™, источника постоянного или радиочастотного излучения и источника питания IMPULSE ™ HIPIMS (совместимого только с DC).

 

В каждый пакет входят все кабели и разъемы, необходимые для интеграции в существующую систему.

 

Данная программа была разработана, чтобы предоставить клиентам полный комплект для магнетронного распыления по специальной цене, что делает его одним из самых доступных вариантов на рынке.

 

Преимущества:

- Полностью интегрированные, plug-and-play проекты

- Наивысшая производительность в системах осаждения

- Полный диапазон расширенных параметров передачи энергии

 

Создайте свой пакет:

 

  1. 1. Выберите TORUS Magnetron:
  2. TORUS 2"
    Magnetron Sputtering Gun
    TORUS 3"
    Magnetron Sputtering Gun
    TORUS 4"
    Magnetron Sputtering Gun

 

2. Выберите блок питания:

 

PD500X3
DC Sputtering & DC Bias
RF06A22XX300
Generator RF Power

 

3. Выберите дополнительный модуль

(необязательно)

 

IMPULSE 2kW Pulsed Power Module,
Single Unit 
IMPULSE 2kW Pulsed Power Module,
Dual Unit
IMPULSE (CE) 2kW Pulsed Power Module,
Single Unit
IMPULSE (CE) 2kW Pulsed Power Module,
Dual Unit
IMPULSE (CE) 2kW Pulsed Power Module,
Single Unit, Kick Pulse
IMPULSE (CE) 2kW Pulsed Power Module,
Dual Unit, Kick Pulse

все новости