dProber™

6-ти зондовый, вертикально монтируемый комплекс анализа отказов или повреждений для полупроводниковой промышленности. Состоит из наноманипулятора Zyvex Nanomanipulator, параметрического анализатора (стандартно Keithley 4200-SCS), перемещаемого в плоскостях XYZ держателя образца, системы очистки, монтажного блока и программного обеспечения.