Zyvex Instruments

Американская компания Zyvex Instruments (http://www.zyvex.com), основанная в 1997 году, является лидером в производстве интегрированных (комплексных) систем для нанотехнологий, в том числе и для нанотехнологий  в электронике. Точность позиционирования зондов составляет менее 5 nm, диаметр точки соприкосновения зонда – всего 20 nm, разрешение по току при совместном использовании с измерительным оборудованием превышает 0,1 fA. В зависимости от решаемых задач данные системы могут включать электронные сканирующие микроскопы, зондовые станции (манипуляторы, зонды), системы для исследования и тестирования характеристик полупроводниковых материалов и приборов, а также   специализированное программное обеспечение.

Данные системы, в числе прочего,  используются при проектировании, исследовании  и тестировании выполненных по нанотехнологии электронных устройств, одноэлектронных устройств, углеродных нанотрубок и электронных устройств на их основе, полимерных оптических нановолокон, нанопроводников и полупроводников, материалов молекулярной электроники.

Наноманипуляторы компании Zyvex

Название	Краткое описание
nProber™	8-ми зондовый измерительный нанокомплекс разработан и оптимизирован для измерения электрических параметров полупроводниковых элементов и приборов с размерами менее 100 nm. Состоит из наноманипулятора Zyvex Nanomanipulator, электронного сканирующего микроскопа (стандартно FEI Quanta™ 200 FEG), параметрического анализатора (стандартно Keithley 4200-SCS), системы очистки и программного обеспечения.
dProber™	6-ти зондовый, вертикально монтируемый комплекс анализа отказов или повреждений для полупроводниковой промышленности. Состоит из наноманипулятора Zyvex Nanomanipulator, параметрического анализатора (стандартно Keithley 4200-SCS), перемещаемого в плоскостях XYZ держателя образца, системы очистки, монтажного блока и программного обеспечения.
sProber™	4-х зондовая система специально разработанная для пользователей, уже имеющих сканирующие электронные микроскопы (SEM) или ионно-лучевые приборы (FIB). Простота в монтировании и демонтаже без привлечения дополнительных специалистов. Состоит из наноманипулятора Zyvex Nanomanipulator, перемещаемого в плоскостях XYZ держателя образца, параметрического анализатора (стандартно Keithley 4200-SCS), системы очистки и программного обеспечения.
S100	4-х зондовый наноманипулятор для совместного использования со сканирующими электронными микроскопами или ионно-лучевыми приборами при исследованиях и разработках в микро- и нанообластях.
Applications Packages	Опции, расширяющие возможности измерительных систем Zyvex. Включают «пакеты» компенсации шумов Low Noise Characterization и температурной стабилизации Temperature Characterization.
S200	S200 - 4-х зондовый наноманипулятор с точностью позиционирования 2 нанометра (2 nm) для совместного использования со сканирующими электронными микроскопами или ионно-лучевыми приборами при исследованиях и разработках в микро- и нанообластях.
NanoEffector® Probes	Зонды Zyvex незаменимы для исследования и разработки механических и электрических наносистем. Зонды (пробники) разработки компании Zyvex дают возможность манипулировать одно- и многослойными нанотрубками и наночастицами.
NanoEffector® Microgrippers	Запатентованные компанией Zyvex кремневые микрозахваты Microgipper являются активными, механизированными устройствами для манипуляций при микро- и наноисследованиях, разработках и производстве.