nProber™


8-ми зондовый измерительный нанокомплекс разработан и оптимизирован для измерения электрических параметров полупроводниковых элементов и приборов с размерами менее 100 nm. Состоит из наноманипулятора Zyvex Nanomanipulator, электронного сканирующего микроскопа (стандартно FEI Quanta™ 200 FEG), параметрического анализатора (стандартно Keithley 4200-SCS), системы очистки и программного обеспечения.