Фоторезисты MICROPOSIT, MEGAPOSIT компании DuPont и Dow Chemical Company
В 2017 году произошло объединение компаниЙ Dow Chemical (Dow Inc) и DuPont.
Компании DuPont и Dow Chemical предлагают надежную, проверенную в производстве линейку фоторезистов, которые отвечают требованиям различных процессов литографии с длинами волн от 365 нм до 13,5 нм.
Скачать Презентацию фоторезистов Dow
Серия |
Фоторезист |
Толщина, мкм |
Проявители |
Средства удаления |
Длина волны экспонирования |
Области применения |
S1813G |
0,7-2,8 |
MF™-319 MICROPOSIT MF™-321 |
Microposit remover 1165 |
i-, g-линии |
Общие рекомендации по фоторезистам для изготовления усовершенствованных микросхем |
|
S1805G2 S1813G2 |
0,7-2,8 |
MF™-319 MICROPOSIT MF™-321 |
Microposit remover 1165 |
i-, g-линии |
Общие рекомендации по фоторезистам для изготовления усовершенствованных микросхем |
|
SPR220-7,0 |
1,1-4,0 |
MF-20A, MF-CD-26 |
Microposit remover 1165 |
i-, g-линии |
Фоторезисты общего назначения с отличной адгезией и характеристиками нанесения покрытий для MEMS и процессов с ударными деформациями Области применения.: Cu, Au, NiFe |
|
SPR-1.2 SPR-1.8 |
1.2 1.8 |
MF-701 0.26N, 0.21N |
Microposit remover 1165 |
i-, g-линии |
Многоволновые фоторезисты оптимизированы для обеспечения высоких температур обработки и производительности при превосходной термостойкости |
|
SPR-955-1.1 |
0,7-3,0 |
MF-CD-26, 0.24-0.26N |
Microposit remover 1165 |
i-линии |
Фоторезист общего назначения с высокой производительностью для интерфейсных и серверных процессов 0,35 мкм |
|
EPIC2135-0,26 EPIC2135-0,32 |
0,26-0,32 |
MF-26A |
Microposit remover 1165 |
90, 130, 180 нм Позитив; технологий «65 нм» и «90 нм» |
Разработанный для технологий «65 нм» и «90 нм»,для использования в производстве полупроводниковых приборов. |
|
UV5-0.6 |
0,6 |
MF-20A MF-CD-26, 0.26N |
Microposit remover 1165 |
Длина волны экспонирования ГУФ (глубокого ультрафиолета) |
Для обеспечения изображения вертикального профиля изолированных и полуплотных элементов |
|
ULTRA-i 123-0,8 |
0,8 |
0.26N MF CD-26 |
Microposit remover 1165 |
Длина волны 250 нм i-Line |
Общего назначения Оптимизирован для антибликового покрытия. |