Фоторезисты MICROPOSIT, MEGAPOSIT компании DuPont и Dow Chemical Company

 

В 2017 году произошло объединение компаниЙ Dow Chemical (Dow Inc) и DuPont

Компании DuPont и Dow Chemical предлагают надежную, проверенную в производстве линейку фоторезистов, которые отвечают требованиям различных процессов литографии с длинами волн от 365 нм до 13,5 нм.

 

Скачать Презентацию фоторезистов Dow

 

Серия

Фоторезист

Толщина, мкм

Проявители

Средства удаления

Длина волны экспонирования

Области применения

MICROPOSIT S 1800G

S1813G

0,7-2,8

MF™-319

MICROPOSIT MF™-321

Microposit remover 1165

i-, g-линии

Общие рекомендации по фоторезистам для изготовления усовершенствованных микросхем

MICROPOSIT S 1800G2

S1805G2

S1813G2

0,7-2,8

MF™-319

MICROPOSIT MF™-321

Microposit remover 1165

i-, g-линии

Общие рекомендации по фоторезистам для изготовления усовершенствованных микросхем

MEGAPOSIT SPR 220

SPR220-7,0

1,1-4,0

MF-20A,

MF-CD-26

Microposit remover 1165

i-, g-линии

Фоторезисты общего назначения с отличной адгезией и характеристиками нанесения покрытий для MEMS и процессов с ударными деформациями

Области применения.: Cu, Au, NiFe

MEGAPOSIT SPR700

SPR-1.2

SPR-1.8

1.2

1.8

MF-701

0.26N, 0.21N

Microposit remover 1165

i-, g-линии

Многоволновые фоторезисты оптимизированы для обеспечения высоких температур обработки и производительности при превосходной термостойкости

MEGAPOSIT SPR 955

SPR-955-1.1

0,7-3,0

MF-CD-26, 0.24-0.26N

Microposit remover 1165

i-линии

Фоторезист общего назначения с высокой производительностью для интерфейсных и серверных процессов 0,35 мкм

EPIC2135

EPIC2135-0,26

EPIC2135-0,32

0,26-0,32

MF-26A

Microposit remover 1165

90, 130, 180 нм

Позитив;

технологий «65 нм» и «90 нм»      

Разработанный для технологий «65 нм» и «90 нм»,для использования в производстве полупроводниковых приборов.

UV5

UV5-0.6

0,6

MF-20A

MF-CD-26,

0.26N

Microposit remover 1165

Длина волны экспонирования ГУФ (глубокого ультрафиолета)

Для обеспечения изображения вертикального профиля изолированных и полуплотных элементов

ULTRA-i 123

ULTRA-i 123-0,8

0,8

0.26N

MF CD-26

Microposit remover 1165

Длина волны 250 нм i-Line

Общего назначения

Оптимизирован  для  антибликового  покрытия.