Тигли для электронно-лучевого испарения

 

     Тигли для источников электронно-лучевого испарения в вакууме являются барьером, предотвращающим потерю тепла, поэтому их рекомендуется использовать для вакуумного напыления большинства материалов электронно-лучевым способом. Стандартно тигли имеют коническую форму и устанавливаются в ячейки вакуумного электронно-лучевого источника для формирования пленок и тонкопленочных покрытий.

 

     Тигли совместимы и подходят для всех электронно-лучевых испарителей производства компаний Kurt J. Lesker, FerroTec, Telemark, Temescal, Thermionics, Balzers, CHA Industries, BOC Edwards, Varian, MDC и других производителей. Тигли доступны во всех стандартных размерах от 1 см3 до 300 см3. Таблица соответствия тиглей и электронно-лучевых пушек доступна по ссылке

 

Тигли могут быть изготовлены под заказ по спецификации или чертежам клиента.

 

Пожалуйста, свяжитесь с нами, если у Вас есть вопросы относительно вашей заявки!
Наши менеджеры ответят на все Ваши вопросы!

 

 Скачать каталог

 

 Графитовые тигли

 

Используются с материалами: Al-Ge, сплавы Al-Si, B, Be, Bi, CdS, CeO2, Cr, Cu, Ge, In, Mg, Mo, Na3AlF6, Pd, Pt, Sb, SiO, SiO2, Sr, Ta, Ti, Y2O3, Zn

 

 

 

 

 Тигли FABMATE®

Используются с материалами: Ag, Al, AlF3, Al2O3, Al/Si, As, Au, B, B4C, Be, Bi, CdS, CeO2, Cr, Cu, Fe, Ga, GaAs, Ge, GeO2, In, ITO, La2O3, Mg, MgF2,MgO, Mo, NaF, Nb, Ni, Ni/Cr, Ni/Fe, Pb, Pd, Pt, Rh, Se, Si, SiO, SiO2, Sn, Ta, Ta2O5, Tb, Te, Th, Ti, TiO, TiO2, Ti3O5,WC, Y2O3, Zn, ZrO2

 Скачать описание
 

Интерметаллические тигли

(BN-TiB2)

 

Используются с материалами: Al

 Тигли из оксида алюминия (Al2O3)

 

 Тигли из молибдена (Mo)

 Медные тигли (Cu)

 Тигли из вольфрама (W)

 

Используются с материалами: Cr

 Тигли из тантала (Ta)

 Тигли из нитрида бора (BN)