Турбомолекулярные насосы серии GFG-Z с керамическими подшипниками

 

        В турбомолекулярных насосах серии GFG-Z применяются лопасти с переменным поперечным сечением и керамические подшипники с консистентной смазкой позволяющие установку насосов под любым углом.

 

Технические параметры

Модель

        GFG100Z

        GFG300Z

        GFG650Z

      GFG1300Z

      GFG2000Z

Входной фланец

   —

  ISO100

  CF100

   ISO100

  CF100

  ISO160

  CF150

  ISO200

  CF200

  ISO250

  CF250

Выходной фланец

   —

          KF25

             KF25

            KF40

            KF40

            KF50

Скорость откачки

  л/с

           100

              300

             650

            1300

            2000

Степень сжатия N2/H2

   —

      1×107 / 8×102

1×108 / 1×103

       1×109 / 1×104

        1×109 / 1×104

        1×109 / 1×104

Предельное давление

  Па

   8×10-7

   3×10-7

    8×10-7

  3×10-7

   3×10-6

  2×10-7

   5×10-7

  8×10-8

   5×10-7

  8×10-8

Скорость вращения

   об/мин

         36000

             33000

             24000

             24000

            24000

Вибрация

  мкм

            —

                —

             ≤ 0.1

             ≤ 0.1

            ≤ 0.1

Время выхода на режим

  мин

           ≤4

               ≤4

               ≤5

               ≤5

              ≤6

Подшипники

   —

                           Керамические с консистентной смазкой

Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса

   л/мин

          120

              120

          250 - 500

          500 - 900

              900

Охлаждение

   —

                   Воздушное

                          Воздушное/Водяное

Температура охлаждающей жидкости

  ⁰С

           —

               —

              ≤ 25

             ≤ 25

             ≤ 25

Температура окружающей среды

  ⁰С

        < 38

            < 38

              < 40

             < 40

            < 40

Поток охлаждающей жидкости

л/мин

           —

               —

                 1

                1

                1

Ориентация при монтаже

   —

                                          Любое положение.

Вес

  кг

          ~7

            ~ 11

             ~ 26

            ~ 27

           ~ 30

 

Быстродействие  турбомолекулярных насосов  GFG-100Z и GFG-300с керамическими подшипниками

 

 

Быстродействие  турбомолекулярных насосов cерии GFG-с керамическими подшипниками