Комбинированные турбомолекулярные насосы серии GFF

 

       Комбинированные турбомолекулярные насосы представляют собой своего рода механические вакуумные насосы, принцип действия которых основан на передаче дополнительного импульса движения молекулам газа от лопастей вращающегося ротора в направлении откачки.

    Турбомолекулярные насосы BSC состоят из турбомолекулярной и молекулярной ступени дискового типа. Они обладают большой степенью сжатия и скоростью откачки и работают в молекулярном и молекулярно-вязкостном режимах течения газа, иногда в вязкостном.

         Турбомолекулярные насосы находят все более широкое применение, особенно в электронных микроскопах, масс спектрометрии, имитаторах космического пространства, ускорителях частиц, полупроводниковом производстве, лазерах и т.д., где требуется довольно высокая производительность при полном отсутствии загрязнения маслом.

 

Технические параметры

 

Модель

              GFF600

                GFF1200

               GFF1600

Входной фланец

      —

     ISO160

      CF150

        ISO200

     CF200

        ISO250

     CF250

Выходной фланец

      —

                KF40

                    KF40

                   KF50

Скорость откачки

     л/с

                 600

                    1200

                   1600

Степень сжатия N2/H2

      —

          1×109/8×103

             1×109/1×104

             1×109/1×104

Предельное давление

     Па

       5×10-7

      8×10-8

          5×10-7

     8×10-8

          5×10-7

      8×10-8

Скорость вращения

    об/мин

               24000

                    24000

                   21000

Время выхода на режим

     мин

               ≤ 4.5

                       ≤5

                      ≤6

Вибрация

     мкм

               ≤ 0.1

                     ≤ 0.1

                   ≤ 0.15

Рекомендуемая скорость     откачки форвакуумного насоса

    л/мин

            250 - 500

                  500 - 900

                      900

Температура охлаждающей жидкости

     ⁰С

               ≤ 20

                      ≤ 20

                     ≤ 20

Максимальная температура прогрева

     ⁰С

              ≤ 120

                     ≤ 120

                    ≤ 120

Поток охлаждающей жидкости

     л/мин

                   1

                          1

                         1

Мощность двигателя

     кВт

              < 0,55

                     < 0,6

                     < 0,7

Напряжение

       В

               AC220

                     AC220

                     AC220

Ориентация при монтаже

      —

             Вертикальное, ±5°

           Вертикальное, ±5°

           Вертикальное, ±5°

Вес

      кг

                ~ 29

                      ~ 34

                      ~ 39