NVSP-400

Система физического осаждения из паровой фазы коробчатого типа основана на призматических / цилиндрических вакуумных камерах. Эти системы имеют от 1 до 4 источников распыления. Многослойные тонкие пленки из 4-х различных материалов могут быть изготовлены системой NVSP NANOVAK®

Система распыления может быть адаптирована в соответствии с желаниями пользователя для производства многослойных металлических, оксидных, карбидных или нитридных пленок, таких как Ni, Fe, Au, Zr, Ti, Si, SiO2, ZnO, TiO2, Si3N4, SiC и т. д.

• Полностью автоматическое управление посредством сенсорного экрана в реальном времени
• Призматическая / цилиндрическая вакуумная камера из SS304.
• Переднее смотровое окно и поворотная заслонка
• Стандартные соединения QF, CF, ISO на выбор,
• ВЧ источник питания, 13,6 МГц, 300 - 1200 Вт
• Источник питания постоянного тока 0 - 1000 В, 2000 Вт
• Уровень базового давления 10^-8 Торр, уровень вакуума 2x10^-6 Торр достигается за 20 минут
• Турбомолекулярный + механический насос, криогенный и сухой насос на выбор
• Система контроля и измерения вакуума с широким диапазоном (1000 - 10^-9 Торр)
• Блок вращения образца 2-30 об / мин
• Устройство плазменной очистки образцов, очистка высокочастотной плазмой посредством высокочастотного смещения образцов.
• Автоматический запуск и остановка, водяное охлаждение с обратной связью
• Двухканальный прецизионный блок измерения толщины
• 1–4 комплекта источников магнетронного распыления постоянного / радиочастотного излучения (1 дюйм, 2 дюйма, 3 дюйма, 4 дюйма)
• Дроссельный, выпускной и стопорный клапаны, точная установка давления, 1 - 100 мТорр
• Управление с ПК через программу Lab-VIEW для автоматического нанесения покрытия
• Дополнительный емкостной манометр для точного измерения давления плазмы.
• Площадь основания 75x120 см, колеса с возможностью блокировки