Комбинированный вакуумметр

Часто в вакуумных процессах необходимо применять несколько принципов измерения, чтобы достичь необходимой точности измерения или охватить большой диапазон давления. В этом случае используются вакуумметры, объединяющие различные принципы измерения в одном приборе. Обычные комбинации - это Байард-Альперт + Пирани (например, ATMION^®), инвертированный магнетрон + Пирани (например, PENNINGVAC PTR 90) или Пирани + ёмкостный (например, THERMOVAC TTR 101).

Широкодиапазонный вакуумметр  ATMION^® позволяет измерять давление в диапазоне 13 декад  (10^-10 mbar до атмосферного давления). Комбинированные датчики с горячим катодом и Пирани обеспечивают надёжное, автоматически  управляемое использование вакуумметра.

Другие преимущества - это экономия места из-за отсутствия дополнительных кабелей и вакуумных соединений, а также обработка данных измерения.