Высокочастотные источники питания для магнетронного распыления

• В комплект входят генератор, схема автоматического согласования и контроллер
• Модели с выходной мощностью 300–3000 Вт.
• Пригодны для магнетронного распыления и электрического смещения подложек.

Высокочастотные генераторные комплекты серии R обеспечивают надёжное питание для магнетронного распыления, создания плазмы и высокочастотного смещения в соответствии с требованиями технологического процесса. В состав комплекта входят все детали типовой высокочастотной схемы, включая необходимые межблочные кабели и провода для подключения распылительного катода Torus, а также комплектующие для монтажа в стойки.

Характеристики:

• Включают генератор, согласующую схему и контроллер.
• Имеют маркировку соответствия CE.
• Твердотельные схемы с микропроцессорным управлением.
• Электронные схемы, минимизирующие коэффициент стоячей волны по напряжению (VSWR).
• Программируемая высокоскоростная пульсация.
• Автоматическая регулировка уровня.
• Программируемые предварительные настройки.
• Вход для зонда постоянного тока.
• Высоковольтные переменные конденсаторы.
• Отображение подаваемой мощности, отражённой мощности и смещения постоянным током.
• Аналоговый либо последовательный интерфейс.
• Конструкция с малыми потерями.
• Автоматический/ручной режим.

Режимы управления питанием

• Постоянное напряжение
• Высокочастотное напряжение
• Управление мощностью прямой волны
• Управление мощностью нагрузки