MPS150

Ручная модульная зондовая станция MPS150 является очень рентабельной и простой в использовании, но, вместе с тем, обеспечивает очень точное позиционирование для тестирования пластин и подложек диаметром до 150 мм. Она поддерживает широкий спектр приложений, таких как C-V/I-V, СВЧ, микроволновые и суб-ТГц измерения, тестирование устройств и пластин (DWC), анализ дефектов (FA), субмикронное позиционирование, тестирование MEMS и оптоэлектронных устройств и многое другое. На рабочем столе может быть размещено до шестнадцати позиционеров, которые обеспечат измерения, аналогичные с использованием проб-карты. На базе станции MPS150 выпускается ряд уже готовых решений зондовых станций линейки EPS150.