Серия постоянного тока KJLC DC – распыление и электрическое смещение

Эти источники питания постоянного тока идеально подходят для процессов напыления, в которых решающим фактором является производительность и надёжность.

В состав серии источников питания KJLC DC входят устройства с мощностью от 1 до 120 кВт. Они предназначены в первую очередь для магнетронного распыления и электрического смещения подложек постоянным током. Устройства компактны и имеют эффективность до 90%. Для обеспечения безопасного использования данные устройства имеют крайне малую накопленную энергию на выходе. Специализированные встроенные схемы подавляют электрическую дугу при работе с материалами, чувствительными к электродуговому воздействию, а также управляют электрической дугой в случае, когда необходимо её поддержание. С помощью органов управления на передней панели можно выбрать поддержание постоянной мощности, тока либо напряжения при мощности, приближающейся к значению уставки.

Серии DC01BP и DC02BP

Серия KJLC DC предназначена для продолжительной интенсивной эксплуатации в условиях вакуума. Это наилучший выбор для базового магнетронного распыления, для распыления постоянным током с высокочастотным смещением, а также для высокочастотного распыления со смещением постоянным током. Небольшой размер позволяет использовать данное устройство в лабораторных системах, а также в мелкосерийном производстве.

Характеристики:

• Инновационное управление электрической дугой.
• Крайне малая накопленная энергия дуги.
• Малое время восстановления.
• Гибкое управление электрической дугой.
• Продолжительное время безотказной работы и долгое время службы.
• Высокая плотность энергии.
• Маркировка CE.
• 
  

Технические характеристики