» ELTM.ru » Продукция » Проявители, удалители, антибликовое покрытие для жидкого фоторезиста » Растворители/разбавители AZ® EBR
Растворители/разбавители AZ® EBR и AZ® EBR 70/30
Компания Merck Performance Materials (AZ Electronic Materials) является одной из ведущих среди производителей специальных химических материалов для фотолитографии высокого качества и чистоты.
AZ® EBR 70/30 и AZ EBR являются растворителями/разбавителями почти для всех фоторезистов AZ.
Это растворители высокой степени очистки (PGMEA), используются для разбавления фоторезиста, удаления наплывов и остатков фоторезиста с поверхностей оборудования или с подложки.
|
Продукты |
||
|
Растворители
|
PGMEA |
PGMEA |
|
Максимальное содержание воды (%) |
0,3 |
0,3 |
|
Внешний вид |
Прозрачная жидкость |
Прозрачная жидкость |
|
Температура вспышки
|
50 °C |
32 °C |
|
Класс опасности |
Класс 3 |
Класс 3 |
