» ELTM.ru » Продукция » Проявители, удалители, антибликовое покрытие для жидкого фоторезиста » Антибликовое покрытие AZ® BARLI™ II
Антибликовое покрытие AZ® BARLI™ II
Компания Merck Performance Materials (AZ Electronic Materials) является одной из ведущих среди производителей специальных химических материалов для фотолитографии высокого качества и чистоты.
Продукты серии AZ BARLi II представляют собой материалы с нижним антиотражающим покрытием (BARC), оптимизированные для экспонирования в i-линии (365 нм).
|
Антибликовое покрытие |
Толщина пленки при 3000 об/мин. |
Длина волны |
Удалитель |
|
0,091 мкм |
365 нм |
AZ EBR 70/30 |
|
|
0,201 мкм |
365 нм |
AZ EBR 70/30 |
