Позволяют измерять температуру процессов в вакууме. Температура измеряется при этом не прямым путём, а вычисляется из значений термоэлектродвижущей силы или Термо-ЭДС.
Термо-ЭДС возникает вследствие разделения зарядов, вызываемого разностью температур между концами электрического проводника.
Термо-ЭДС зависит от материала проводника и приблизительно пропорциональна перепаду температуры. Термоэлементы (термопары) состоят из двух различных, соединённых на одном конце металлов. Термоэлементные вводы проводят термоэлектродвижущую силу (EMK) из вакуумной камеры к наружному измерительному прибору, с помощью которого определяется температура. При выборе материалов необходимо учитывать наибольшую термоэлектродвижущую силу, линейность и антикоррозийную устойчивость. В зависимости от области применения термоэлементы изготавливаются из благородных и неблагородных металлов и их сплавов. Характерные сплавы для термоэлементов - алюмель® (никель, алюминий и марганец), хромель®(никель и хром) и константан (медь и никель).
Для изготовления термопарных вводов иногда используется не сам сплав, а так называемый компенсационный материал ("компенсационный провод"). Компенсационные материалы характеризуются термоэлектрические свойствами, подходящими для материала того или иного термоэлемента. В этом случае в информационной сноске указывается использованный компенсационный материал. Следует заметить, что температура одного термоэлемента на месте присоединения с вакуумной стороны не должна превышать 250 °C („макс. температура перехода 250 °C“).
Характерные материалы для проводников и описания соответствующих типов приведены в следующей таблице:
Термоэлемент |
Полярность |
Измеряемый диапазон температуры [°C] |
|
T |
медь |
+ |
-200...350 |
K |
Xромель® |
+ |
-200...1250 |
R/S |
платина 13/10 % |
+ |
0...1450 |
J |
железо |
+ |
0...750 |
E |
Chromel® |
+ |
-200...900 |
C** |
вольфрам 5 % рений* |
+ |
0...2315 |
*Используется компенсационный провод; Tмакс. на фланце 250 °C
**Не входит в кодировку ANSI
Название | |||