Позволяют измерять температуру процессов в вакууме. Температура измеряется при этом не прямым путём, а вычисляется  из значений термоэлектродвижущей силы или Термо-ЭДС. 


Термо-ЭДС возникает вследствие разделения зарядов, вызываемого разностью температур между концами электрического проводника.

Термо-ЭДС зависит от материала проводника и приблизительно пропорциональна перепаду температуры. Термоэлементы (термопары) состоят из двух различных, соединённых на одном конце металлов. Термоэлементные вводы проводят термоэлектродвижущую силу (EMK) из вакуумной камеры к наружному измерительному прибору, с помощью которого определяется температура. При выборе материалов необходимо учитывать наибольшую термоэлектродвижущую силу, линейность и антикоррозийную устойчивость. В зависимости от области применения термоэлементы изготавливаются из благородных и неблагородных металлов и их сплавов. Характерные сплавы для термоэлементов - алюмель® (никель, алюминий и марганец), хромель®(никель и хром) и константан (медь и никель).

Для изготовления термопарных вводов иногда используется не сам сплав, а так называемый компенсационный материал ("компенсационный провод"). Компенсационные материалы характеризуются термоэлектрические свойствами, подходящими для материала того или иного термоэлемента. В этом случае в информационной сноске указывается использованный компенсационный материал. Следует заметить, что температура  одного термоэлемента на месте присоединения с вакуумной стороны не должна превышать 250 °C  („макс. температура перехода  250 °C“).

 

Характерные материалы для проводников и описания соответствующих типов приведены в следующей таблице:

 

Термоэлемент 
(кодировка ANSI)

 

Полярность

Измеряемый диапазон температуры [°C]

T

медь
константан

+
-

 -200...350

K

Xромель®
Aлюмель®

+
-

-200...1250

R/S

платина 13/10 % 
родий *
платина*

+
-

0...1450

J

железо
Constantan

+
-

 0...750

E

Chromel®
константан

+
-

-200...900

C**

вольфрам 5 % рений*
вольфрам 26 %рений*

+
-

0...2315

*Используется компенсационный провод; Tмакс. на фланце 250 °C
**Не входит в кодировку ANSI


Название