Системными называются компоненты, являющиеся неотъемлемой частью типичной вакуумной системы. В их число входят шлюзы для загрузки образцов из внешней атмосферы в вакуумированный объём, дверцы для быстрого доступа в вакуумную камеру, оборудование для перемещения подложек между отдельными вакуумными камерами при работе в кластере, а также нагреватели подложек. |
ЗАГРУЗОЧНЫЕ ШЛЮЗОВЫЕ КАМЕРЫ И УЗЛЫ
• Удобное перемещение образцов. • Откачка и вентиляция без загрязнения основной камеры. • Модели серии Stealth, Utility, а также цилиндрические и планарные • Загрузочные шлюзовые узлы (насосы и манипуляторы по дополнительному заказу) |
Загрузочная шлюзовая система может входить в состав производственной либо лабораторной вакуумной системы. Она обеспечивает удобную загрузку и выгрузку образцов, поскольку откачка и вентиляция шлюза не влияют на давление в основной камере. В результате в основной объём вакуумной камеры не попадает водяной пар и другие загрязнители, а её пропускная способность увеличивается. Все загрузочные шлюзы оснащены смотровым окном и дверцей с круглым уплотнительным кольцом для быстрого доступа внутрь после того, как давление в шлюзе сравняется с атмосферным, а также портами для насосов и манометров.
• Серия Stealth – с двумя манипуляторами, пригодна для перемещения подложек между камерами.
• Цилиндрическая серия – компактная конструкция без сварных швов.
• Планарная серия – прямоугольная низкопрофильная конструкция.
• Серия Utility – простая экономичная конструкция.
• Планарные сборочные узлы – предварительно разработанные наборы для загрузки полупроводниковых пластин (включают клапан, насос и загрузочный манипулятор).
ДВЕРЦЫ БЫСТРОГО ДОСТУПА
• Быстрый и удобный доступ в вакуумированный объём. • Широкий выбор монтажных фланцев. • Изготавливаются со смотровым окном либо без него. • Боросиликатное стекло в стандартной комплектации, кварцевое стекло по дополнительному заказу.
|