Системные компоненты - Вакуумное оборудование фирмы Kurt J. Lesker - Вакуумное и криогенное оборудование. Масла и смазки - Продукция - ELTM.ru

Системными называются компоненты, являющиеся неотъемлемой частью типичной вакуумной системы. В их число входят шлюзы для загрузки образцов из внешней атмосферы в вакуумированный объём, дверцы для быстрого доступа в вакуумную камеру,

оборудование для перемещения подложек между отдельными вакуумными камерами при работе в кластере, а также нагреватели подложек.

ЗАГРУЗОЧНЫЕ ШЛЮЗОВЫЕ КАМЕРЫ И УЗЛЫ

 

• Удобное перемещение образцов.

• Откачка и вентиляция без загрязнения основной камеры.

• Модели серии Stealth, Utility, а также цилиндрические и планарные

• Загрузочные шлюзовые узлы (насосы и манипуляторы по дополнительному заказу)

Загрузочная шлюзовая система может входить в состав производственной либо лабораторной вакуумной системы. Она обеспечивает удобную загрузку и выгрузку образцов, поскольку откачка и вентиляция шлюза не влияют на давление в основной камере. В результате в основной объём вакуумной камеры не попадает водяной пар и другие загрязнители, а её пропускная способность увеличивается. Все загрузочные шлюзы оснащены смотровым окном и дверцей с круглым уплотнительным кольцом для быстрого доступа внутрь после того, как давление в шлюзе сравняется с атмосферным, а также портами для насосов и манометров.

 

• Серия Stealth – с двумя манипуляторами, пригодна для перемещения подложек между камерами.

• Цилиндрическая серия – компактная конструкция без сварных швов.

• Планарная серия – прямоугольная низкопрофильная конструкция.

• Серия Utility – простая экономичная конструкция.

• Планарные сборочные узлы – предварительно разработанные наборы для загрузки полупроводниковых пластин (включают клапан, насос и загрузочный манипулятор).

 

ДВЕРЦЫ БЫСТРОГО ДОСТУПА

 

• Быстрый и удобный доступ в вакуумированный объём.

• Широкий выбор монтажных фланцев.

• Изготавливаются со смотровым окном либо без него.

• Боросиликатное стекло в стандартной комплектации, кварцевое стекло по дополнительному заказу.