Мы предлагаем отдельные установки ALD для базовых исследований или полностью интегрированные установки для сложных научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок. Во всех установках на платформе ALD реализован полный контроль над процессом, интегрированное вакуумирование, приборы измерения давления и устройства подачи газов, оптимальные для вашей конкретной области применения.


Название Краткое описание
ALD-150L Компактная установка с программным управлением представляет собой высокопроизводительный, эффективный ламинарный реактор для осаждения атомных слоёв.
ALD-200L Установка средних размеров с программным управлением для передовых исследований и разработок в области осаждения атомных слоёв.
ALD-8000 Интегрированная установка с программным управлением допускает применение многих дополнений к реактору осаждения атомных слоёв в едином вакуумном цикле.
Камера для осаждения атомных слоев Камера осаждения атомных слоёв компании «Kurt J.Lesker» оптимизирована для сокращения продолжительности циклов и для максимальной гибкости использования.