Источники напыления
Источники напыления — это компоненты, которые различными способами вызывают в основном материале физические либо химические изменения, делающие его пригодным для осаждения в виде тонких плёнок. К типичным источникам напыления относятся, в частности, катоды для магнетронного распыления, источники с термическим и электронно-лучевым распылением, а также ионно-лучевые источники.
Компания KJLC производит, собирает, испытывает и использует катоды для магнетронного распыления TORUS®, оборудование для резистивного термического испарения, а также точечные источники-испарители, поставляемые на рынок вакуумного оборудования как в качестве самостоятельных товаров, так и в составе собственных систем вакуумного напыления тонких плёнок.
Катоды для магнетронного распыления TORUS®
|
|
Обращённые магнетроны Isoflux
- Цилиндрические мишени окружают подложку напыляемым материалом.
- В большинстве случаев исключают необходимость вращения подложки.
- Приводятся в действие источниками переменного, постоянного тока, а также импульсного постоянного тока.
- Патентованные конструкции катодов.
- Конформные трёхмерные покрытия.
- Использование до 75% материала мишени.
Источники с термическим распылением
|
|