Компоненты систем напыления тонких плёнок - Вакуумное оборудование фирмы Kurt J. Lesker - Вакуумное и криогенное оборудование. Масла и смазки - Продукция - ELTM.ru

Источники напыления

Источники напыления — это компоненты, которые различными способами вызывают  в основном материале физические либо химические изменения, делающие его пригодным для осаждения в виде тонких плёнок. К типичным источникам напыления относятся, в частности, катоды для магнетронного распыления, источники с термическим и электронно-лучевым распылением, а также ионно-лучевые источники.

Компания KJLC производит, собирает, испытывает и использует катоды для магнетронного распыления TORUS®, оборудование для резистивного термического испарения, а также точечные источники-испарители, поставляемые на рынок вакуумного оборудования как в качестве самостоятельных товаров, так и в составе собственных систем вакуумного напыления тонких плёнок.

 

Катоды для магнетронного распыления TORUS®

  • Позволяют распылять мишени практически из любого материала
  • Приводятся в действие источниками питания высокой частоты, постоянного тока, 
а также импульсного постоянного тока
  • Модели для высокого и сверхвысокого вакуума
  • Линейные и круговые модели
  • Обслуживание и восстановление

Обращённые магнетроны Isoflux

 

  • Цилиндрические мишени окружают подложку напыляемым материалом.
  • В большинстве случаев исключают необходимость вращения подложки.
  • Приводятся в действие источниками переменного, постоянного тока, а также импульсного постоянного тока.
  • Патентованные конструкции катодов.
  • Конформные трёхмерные покрытия.
  • Использование до 75% материала мишени.

 

Источники с термическим распылением

  • Термическое распыление путём нагрева резистивного элемента
  • Нити, лодочки, коробочки и стержни.
  • Точечные источники для испарения органических материалов
  • Миниатюрные испарители, устанавливаемые в штуцеры.
  • Комплектные резистивные испарители, устанавливаемые на фланцы.