В процессе напыления конденсацией материал испаряется, образуя направленный поток, который конденсируется, формируя на подложке тонкую плёнку.

Главными технологиями напыления конденсацией являются ионно-плазменное напыление, электронно-лучевое напыление и термическое напыление.

 

Ионно-плазменное напыление

 

Физические принципы ионно-плазменного напыления рассматриваются в Разделе 11 Технических заметок. Во всех вариантах технологий ионно-плазменного напыления заготовка, из вещества которой образуется тонкая плёнка, называется мишенью или катодом, что характеризует её электрический потенциал в процессе напыления.


Электронно-лучевое напыление

Нормальное/реактивное напыление


При электронно-лучевом напылении свободные электроны, выделяющиеся из нити накаливания в процессе термоэлектронной эмиссии, соударяются с поверхностью напыляемого вещества. Рассеяние потока обладающих высокой энергией электронов вызывает рост температуры, и, при определённом давлении паров, создаёт поток испаряемого вещества. При нормальном напылении давление в камере напыления поддерживается на минимально возможном уровне, чтобы предотвратить химические реакции газов с плёнкой и с испаряемым материалом. Если же заполнить камеру смесью газов с тщательно контролируемыми парциальными давлениями, то можно получить плёнку, отличную по химическому составу от испаряемого вещества заготовки.


Термическое напыление

 

Термическое напыление остаётся главной технологией нанесения тонких плёнок, в особенности в научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработках, для которых неоспоримым преимуществом оказываются небольшие затраты на установки и использование недорогих одноразовых испарителей. Испарители различных форм и размеров, таких как ленточные, лодочные, коробочные, проволочные, тигельные и так далее, обсуждаются в Разделе 9. К недостаткам использования испарителей можно отнести сложность точного контроля температурного режима, а также непредсказуемое взаимодействие материала испарителя с испаряемым веществом.

 


Название Краткое описание
AXXIS™ AXXISTM - Простое и эффективное использование различных технологий напыления по отдельности и одновременно!
Серия CMS Серия CMS - гибкая система напыления тонких плёнок в целях исследования и проектирования.
Серия PVD Установки серии PVD имеют модульную конструкцию, что позволяет использовать их в различных целях, чаще всего для исследований, опытного или мелкосерийного производства.
SPECTROS® Установки SPECTROS® разработаны для исследования органических тонких плёнок (OLED/PLED), применяемых в производстве дисплеев и осветительных приборов.
LUMINOS LUMINOS® многокамерная установка-кластер для напыления тонких плёнок и их анализа в научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработках, где требуется перемещение подложек между камерами без нарушения вакуума.
OCTOS Полностью автоматизированная кластерная установка для опытного производства, требующего перемещения подложек из камеры в камеру в вакууме.