• Кристаллы служат «расходным материалом», на который производится напыление с целью определения толщины плёнки.

• Для разных приложений предлагаются кристаллы с покрытием золотом, серебром и сплавами.

Управляющие кварцевые кристаллы, плоско-выпуклые, 6 МГц, диаметром 0,55” (1,4 см). Совместимы со всеми датчиками для кристаллов на 6 МГц производства компании INFICON. Выбор покрытия, серебро, золото или сплав, зависит от планируемого применения. Могут использоваться с любыми контроллерами и мониторами напыления производства компании INFICON. Подлинные кристаллы INFICON проходят 100% испытания и проверки, что гарантирует стабильное и точное управление технологическим процессом.


Проверяемые параметры:

o Сопротивление – проверка электрического контакта и адгезии электродов.

o Частота – проверка точности определения толщины плёнки.

o Кривизна – проверка стабильности резонансной частоты. Недостаточная кривизна приводит к более быстрому снижению стабильности измерения.

o Визуальный осмотр – проверка однородности электродов, обнаружение дефектов поверхности и других отклонений, свидетельствующих о плохой адгезии электродов либо о наличии загрязнений.


ПРИМЕЧАНИЕ:

o Золотое покрытие рекомендуется при напылении плёнок с малыми внутренними напряжениями, таких как алюминий, золото, серебро и пр. Серебро или сплав рекомендуются при напылении плёнок с большими внутренними напряжениями, таких как хром, никель, инконель и пр. Сплав рекомендуется при напылении диэлектрических материалов, таких как фторид магния, монооксид кремния и пр.

o Информацию о других типах кристаллов и ценах можно запросить в нашей компании.