Мониторы и контроллеры напыления - Вакуумное оборудование фирмы Kurt J. Lesker - Вакуумное и криогенное оборудование. Масла и смазки - Продукция - ELTM.ru

Толщина нанесённой плёнки часто оказывает решающее воздействие на её характеристики. Для контроля толщины тонкой плёнки в процессе напыления используются мониторы с кварцевыми кристаллическими датчиками. Компания KJLC предлагает разнообразные решения, от простого отслеживания толщины единственной плёнки до наблюдения за сложными процессами совместного напыления.

 

Мониторы для тонких плёнок

• Мониторы начального уровня, совместимые с кристаллическими датчиками INFICON.

• Два входа для датчиков в стандартной комплектации, четыре дополнительных входа по дополнительному заказу.

• Простое в использовании программное обеспечение под ОС Windows в комплекте; позволяет сохранять и просматривать данные в Excel.

Мониторы для тонких плёнок:

• FTM-2400 — многоканальный монитор для кварцевых кристаллических датчиков.

• FTM-2400 и FTC-2800 — генераторы и кабели.

 

 

Контроллеры для тонких плёнок

• Интегрированы с источниками напыления для точного управления толщиной плёнки.

• От 8 до 28 входов для датчиков в зависимости от модели/области применения.

• Дополнительные функции для некоторых моделей, такие как контроль совместного напыления, функция «auto-Z» и контроль плёнки в ходе технологического процесса.

Контроллеры для тонких плёнок:

 

Контроллер FTC

o FTC-2800 — многоканальный контроллер для кварцевых кристаллических датчиков.

o FTM-2400 и FTC-2800 — генераторы и кабели.

Контроллер XTC/3

o XTC/3S — контроллер для однослойного напыления

o XTC/3M — контроллер для многослойного напыления

o XTC/3 XIU — комплект генераторов и межблочных кабелей

o Переключатель Crystal Two Switch

Контроллеры IC/5 и Cygnus

o IC/5 и Cygnus — комплекты XIU и межблочных кабелей.

o Переключатель Crystal Two Switch

 

 

Датчики INFICON

• Датчик — это компонент-держатель кристалла, входящий в состав системы мониторинга/управления и располагающийся внутри вакуумной камеры.

• Предлагаются одинарные, двойные, жаростойкие и затворные датчики.

Датчики INFICON

o Датчики фронтальной загрузки INFICON

o Датчики INFICON Cool Drawer

 

 

Вакуумные вводы INFICON

 

• Некоторые датчики привариваются к вакуумным вводам на заводе-изготовителе, однако вакуумные вводы можно заказать отдельно.

• Предлагаются датчики с фланцами 2,75" CF и с резьбовыми соединениями 1".

• Фитинги Ultra-Torr не требуют сварки.

Перечисленные ниже вакуумные вводы совместимы со всеми контроллерами напыления INFICON на кварцевых кристаллических датчиках. Каждый ввод оснащён коаксиальными электрическими разъёмами и трубками для подачи воздуха либо воды. Каждому датчику соответствует определённый тип вакуумного ввода. Выбор вакуумных вводов следует осуществлять по типам портов вакуумной камеры и подлежащих установке датчиков.


ПРИМЕЧАНИЕ:

o Линии для воздуха и воды имеют внешний диаметр 3/16”. Для двухкристальных датчиков требуется два электрических разъёма.

o Для всех затворных датчиков необходимы подходящие вакуумные вводы и управляющие клапаны (750-420-G1).

Конфигурация вакуумных вводов зависит от выбранных опций (датчик фронтальной загрузки либо Cool Drawer, тип ввода и соединения). Пример: в конфигурации SL-A0E37 используется ввод с каталожным номером 002-042, а в конфигурации SL-A1E37 ввод с номером 750-030-G1. В CDD-AF40, -AF47, -BF40 и -BF47 используется гибридная конструкция вводов из 2 частей из-за размерных ограничений стандарта CF40.