Толщина нанесённой плёнки часто оказывает решающее воздействие на её характеристики. Для контроля толщины тонкой плёнки в процессе напыления используются мониторы с кварцевыми кристаллическими датчиками. Компания KJLC предлагает разнообразные решения, от простого отслеживания толщины единственной плёнки до наблюдения за сложными процессами совместного напыления.
Мониторы для тонких плёнок• Мониторы начального уровня, совместимые с кристаллическими датчиками INFICON. • Два входа для датчиков в стандартной комплектации, четыре дополнительных входа по дополнительному заказу. • Простое в использовании программное обеспечение под ОС Windows в комплекте; позволяет сохранять и просматривать данные в Excel. |
|
Мониторы для тонких плёнок:• FTM-2400 — многоканальный монитор для кварцевых кристаллических датчиков. • FTM-2400 и FTC-2800 — генераторы и кабели. |
Контроллеры для тонких плёнок• Интегрированы с источниками напыления для точного управления толщиной плёнки. • От 8 до 28 входов для датчиков в зависимости от модели/области применения. • Дополнительные функции для некоторых моделей, такие как контроль совместного напыления, функция «auto-Z» и контроль плёнки в ходе технологического процесса. |
|
Контроллеры для тонких плёнок:
Контроллер FTC o FTC-2800 — многоканальный контроллер для кварцевых кристаллических датчиков. o FTM-2400 и FTC-2800 — генераторы и кабели. Контроллер XTC/3 o XTC/3S — контроллер для однослойного напыления o XTC/3M — контроллер для многослойного напыления o XTC/3 XIU — комплект генераторов и межблочных кабелей o Переключатель Crystal Two Switch Контроллеры IC/5 и Cygnus o IC/5 и Cygnus — комплекты XIU и межблочных кабелей. o Переключатель Crystal Two Switch |
Датчики INFICON• Датчик — это компонент-держатель кристалла, входящий в состав системы мониторинга/управления и располагающийся внутри вакуумной камеры. • Предлагаются одинарные, двойные, жаростойкие и затворные датчики. |
|
Датчики INFICONo Датчики фронтальной загрузки INFICON o Датчики INFICON Cool Drawer |
Вакуумные вводы INFICON
• Некоторые датчики привариваются к вакуумным вводам на заводе-изготовителе, однако вакуумные вводы можно заказать отдельно. • Предлагаются датчики с фланцами 2,75" CF и с резьбовыми соединениями 1". • Фитинги Ultra-Torr не требуют сварки. Перечисленные ниже вакуумные вводы совместимы со всеми контроллерами напыления INFICON на кварцевых кристаллических датчиках. Каждый ввод оснащён коаксиальными электрическими разъёмами и трубками для подачи воздуха либо воды. Каждому датчику соответствует определённый тип вакуумного ввода. Выбор вакуумных вводов следует осуществлять по типам портов вакуумной камеры и подлежащих установке датчиков. ПРИМЕЧАНИЕ: o Линии для воздуха и воды имеют внешний диаметр 3/16”. Для двухкристальных датчиков требуется два электрических разъёма. o Для всех затворных датчиков необходимы подходящие вакуумные вводы и управляющие клапаны (750-420-G1). Конфигурация вакуумных вводов зависит от выбранных опций (датчик фронтальной загрузки либо Cool Drawer, тип ввода и соединения). Пример: в конфигурации SL-A0E37 используется ввод с каталожным номером 002-042, а в конфигурации SL-A1E37 ввод с номером 750-030-G1. В CDD-AF40, -AF47, -BF40 и -BF47 используется гибридная конструкция вводов из 2 частей из-за размерных ограничений стандарта CF40. |