IMPULSE™ – новый источник питания для магнетронного распыления импульсами высокой мощности (HiPIMS)

Компания ООО «ЭлекТрейд-М» как официальный партнер Kurt J. Lesker Company (KJLC®) представляет новый источник питания KJLC® IMPULSE™ для применения в современных системах нанесения методом магнетронного распыления импульсами высокой мощности (HiPIMS, High Power Impulse Magnetron Sputtering) высокопроизводительные плотные, высокотвердые, непористые пленки и превосходные оптические покрытия.

Источник питания IMPULSE™ - это надежное и интегрируемое решение для любой существующей системы магнетронного распыления в научно-исследовательской области и других сферах, где приобретает интерес новая технология высокоимпульсного распыления HiPIMS. Источник питания KJLC® IMPULSE™ HiPIMS отлично подходит для распыления мишеней диаметром от 1 до 4 дюймов, а также идеально совместим с магнетронами KJLC® TORUS® Mag Keeper™ и с другими типами магнетронов.

Источник питания IMPULSE™ HiPIMS обеспечивает до 2кВт выходной мощности и предлагается как в одиночной, так и в сдвоенной конфигурации. Варианты применения источника питания в двойной конфигурации это совмещение выходов в единый, что позволяет увеличить и обеспечить суммарную выходную мощность до 4 кВт. Оба блока могут быть установлены в режимы Master или Slave. Данный вариант применения улучшает регулировку и обеспечивает дополнительным запасом тока, подаваемого на подложку.

Основными преимуществами применения источника питания магнетронного распыления импульсами высокой мощности IMPULSE™ HiPIMS является: высокая равномерность покрытия, высокая скорость осаждения, высокая плотность пленки, превосходная воспроизводимость, высокая масштабируемость, отсутствие перераспыления, возможность одновременной работы с высокочастотными источниками питания.

Особенности IMPULSE™ HiPIMS:

• Выходные параметры: макс. напряжение до 1000 В, макс. импульсный ток до 400 А, макс. ток в режиме смещения подложки до 200 А, диапазон регулирования частоты до 2 кГц;
• Регулируемая ширина импульса, частоты и пикового тока;
• Индикация и управление в режиме реального времени напряжением и током разряда;
• Короткие импульсы <10 мкс (минимальное время включения / выключения - 2 мкс);
• Питание с интегрированной обратной связью;
• Обнаружение дуги и технология ее подавления, < 1 мкс;
• Управление с сенсорного экрана;
• Прямой ввод параметров, тактильное управление;
• Дистанционное управление, пользовательские настройки;
• Синхронизация блоков в режим «ведущего» и «ведомого»;
• Интерфейс Ethernet для удаленной работы;
• Обновляемое программное обеспечение.

Технические характеристики источника питания IMPULSE™ HiPIMS.pdf

Совместные исследования Kurt J. Lesker Company (KJLC®) и The Fraunhofer Institute for Surface Engineering and Thin Films (IST) в напыление металлов с помощью источник питания KJLC® IMPULSE™ HiPIMS и магнетрона KJLC® TORUS® Mag Keeper™: